Uni-HD.2026.1159_Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)_KIPVGV OFFEN

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

Ausschreibende Stelle
Universität Heidelberg
Leistungsort
Heidelberg, Stadtkreis
Angebotsfrist
30. November 2026, 09:00 in 20 Tagen
Leistung
CPV 31640000
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Energie & Versorgung Heidelberg, Stadtkreis Öffentliche Auftraggeber

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Lose

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Los Leistung Ausführung
LOT-0001 Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD) Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung "Frei Bordsteinkante inkl. Abladen" - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 1.039.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. —

Vergabeunterlagen

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Verfahren

Verfahrensart
VGV
Veröffentlicht
29. Oktober 2026
Fragefrist
20. November 2026
Angebotsfrist
30. November 2026, 09:00

Vergabestelle

Stelle
Universität Heidelberg
Kontakt
vergabe@zuv.uni-heidelberg.de
Original
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